点击图片查看原图大型LNG杜瓦罐抽真空系统，将24~48只低温绝热钢瓶放置在烘箱内进行烘烤加热抽真空，所有钢瓶的真空口用高真空推拉阀和波纹管连接，机组采用双极旋片泵预抽，罗茨泵加速，用扩散泵或者分子泵精抽，整个抽真空工艺5-7天完成，真空泵的测量规管和机组由业主自由选配，最终主管路极限真空度优于：7×10-5Pa。
一、双级旋片式真空泵
每秒抽气速率30升（70升）
极限真空为6×10-2Pa
30升的功率为3KW（70升功率5.5KW）
二、电磁真空带充气阀
三、罗茨真空泵
极限真空为5×10-2Pa
速率每秒150升的功率为3KW
速率每秒300升的功率为5.5KW。
四、扩散真空泵
扩散泵的极限真空是7×10-5Pa
口径150mm的功率是1.5KW。
五、电阻规
电阻规为测量低真空的测量探头
六、电离规
电离规为测量高真空的测量探头
七、杜瓦罐烘箱
自动温控0~400度可调
复合数显真空仪表
烘箱功率6KW
